Sivaraman, S. (1995). Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials. Van Nostrand reinheld.
Παραπομπή Chicago StyleSivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. New York: Van Nostrand reinheld, 1995.
Παραπομπή MLASivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. Van Nostrand reinheld, 1995.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.