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Nanolithography and patterning techniques in microelectronics / Project Report
第一著者: | |
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その他の著者: | |
フォーマット: | Printed Book |
言語: | English |
出版事項: |
Cambridge : Boca Raton, FL :
Woodhead Pub. ; CRC Press,
c2005.
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主題: | |
オンライン・アクセス: | http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0607/2006365086.html http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2006365086-d.html |
インターネット
http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0607/2006365086.htmlhttp://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2006365086-d.html
DAC
請求記号: |
621.3815/31,BUC |
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所蔵 | ステータス情報は利用できません |