Загрузка...
Nanolithography and patterning techniques in microelectronics / Project Report
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Printed Book |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Cambridge : Boca Raton, FL :
Woodhead Pub. ; CRC Press,
c2005.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0607/2006365086.html http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2006365086-d.html |
| Объем: | xiv, 409 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1855739313 (Woodhead) 0849334470 (CRC) 1845690907 (ebook) 9781855739314 |