Nanolithography and patterning techniques in microelectronics / Project Report

Détails bibliographiques
Auteur principal: Bucknall,David,G (ed.)
Autres auteurs: Bucknall, David G.
Format: Printed Book
Langue:English
Publié: Cambridge : Boca Raton, FL : Woodhead Pub. ; CRC Press, c2005.
Sujets:
Nanolithography
Accès en ligne:http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0607/2006365086.html
http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2006365086-d.html
Description
Description matérielle:xiv, 409 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:1855739313 (Woodhead)
0849334470 (CRC)
1845690907 (ebook)
9781855739314

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