Nanolithography and patterning techniques in microelectronics / Project Report

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Bucknall,David,G (ed.)
Další autoři: Bucknall, David G.
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: Cambridge : Boca Raton, FL : Woodhead Pub. ; CRC Press, c2005.
Témata:
Nanolithography
On-line přístup:http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0607/2006365086.html
http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2006365086-d.html
Popis
Fyzický popis:xiv, 409 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:1855739313 (Woodhead)
0849334470 (CRC)
1845690907 (ebook)
9781855739314

Podobné jednotky