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    Lithography main techniques
    Por Landis, Stefan., ed
    Publicado em 2011
    Assuntos: “...Electron beam lithography...”
    Printed Book
  2. 2
    Micro - nano fabrication: technologies and applications
    Por Cui, Zheng
    Publicado em 2005
    Assuntos: “...Optical lithography Electron beam lithography Ion beam lithography Fabrication technologies...”
    Printed Book
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