Loading...

Interlayer dielectrics for semiconductor technologies

Bibliographic Details
Main Author: Murarka, S P; Sinha, A. K. and Eizenberg, M.
Format: Printed Book
Published: Elsevier 2003
Subjects:
LEADER 00627nam a2200193 4500
020 |a 9780125112215  |c 22612.50 
082 |a R 621.38152 MUR-I 
100 |a Murarka, S P; Sinha, A. K. and Eizenberg, M. 
245 |a Interlayer dielectrics for semiconductor technologies 
250
260 |a Elsevier  |c 2003 
300 |a 444 
490
500
590 |a Ganesh Book Centre  |b GBC/17 dt 01/06/2015  |c 22612.50 
650 |a Semiconductor wafers 
942 |c REF 
999 |c 85597  |d 85597 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 R_621_381520000000000_MURI  |7 0  |9 99065  |a PHY  |b PHY  |g 22612.50  |l 0  |o R 621.38152 MUR-I  |p PHY07255  |r 2019-09-24  |w 2019-09-24  |y REF