Micromachines as tools for nanotechnology

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Fujita, H
Natura: Printed Book
Pubblicazione: Springer (India) Pvt Ltd., New Delhi 2004
Soggetti:
Microelectromechanical systems
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Micromachines as tools for nanotechnology
di Fujita, H.
Pubblicazione 2004
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Micromachines as Tools for Nanotechnology
di Fujita, H.
Pubblicazione 2003
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