Micromachines as tools for nanotechnology

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fujita, H
Format: Printed Book
Veröffentlicht: Springer (India) Pvt Ltd., New Delhi 2004
Schlagworte:
Microelectromechanical systems
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Micromachines as tools for nanotechnology
von Fujita, H.
Veröffentlicht 2004
Printed Book
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Veröffentlicht 2003
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Micromachines as Tools for Nanotechnology
von Fujita, H.
Veröffentlicht 2003
Printed Book
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