Dry etching for microelectronics

Lignende værker

• Etching of crystals : theory, experiment, and application /
  af: Sangwal, Keshra
  Udgivet: (1987)
• Dry etching for microelectronics/
  af: Powell Ronald A
  Udgivet: (1984)
• Plasma processes for semiconductor fabrication
  af: Hitchon, W. Nicholas G.
  Udgivet: (1999)
• Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham
  af: Schellenberg, F.M. [ed.]
  Udgivet: (2004)
• Microelectronics
  af: Whitaker, Jerry C.
  Udgivet: (2006)