Powell, R. A. (1984). Dry etching for microelectronics.
استشهاد بنمط شيكاغوPowell, Ronald A. Dry Etching for Microelectronics. North-Holland Physics Publishing Co., Amsterdam, 1984.
MLA استشهادPowell, Ronald A. Dry Etching for Microelectronics. 1984.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.