Microlithography : science and technology /

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Sheats, James R., Smith, Bruce W.
פורמט: Printed Book
יצא לאור: New York : Marcel Dekker, c1998.
נושאים:
Microlithography
Integrated circuits
Metal oxide semiconductors, Complementary
Manufacturing processes.
גישה מקוונת:http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0647/98016713-d.html

אינטרנט

http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0647/98016713-d.html

פריטים דומים