Microlithography : science and technology /

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Sheats, James R., Smith, Bruce W.
التنسيق: Printed Book
منشور في: New York : Marcel Dekker, c1998.
الموضوعات:
Microlithography
Integrated circuits
Metal oxide semiconductors, Complementary
Manufacturing processes.
الوصول للمادة أونلاين:http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0647/98016713-d.html

الانترنت

http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0647/98016713-d.html

مواد مشابهة