LEADER 01102cam a22002777a 4500
999 |c 214812  |d 214812 
020 |a 9787302243076 
020 |a 7302243077 
020 |a 9783642182921 
020 |a 3642182925 
082 |a 620.115 
245 0 0 |a Microsystems and nanotechnology /  |c Zhaoying Zhou, Zhonglin Wang, Liwei Lin, [editors]. 
260 |a Beijing :  |b Tsinghua University Press ;  |a Berlin :  |b Springer,  |c 2012. 
300 |a xxii, 1004 p. :  |b ill. (some col.) ; 
500 |a "With 586 figures, 148 of them in color." 
504 |a Includes bibliographical references. 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
650 0 |a Nanotechnology. 
700 1 |a Zhou, Zhaoying. 
700 1 |a Wang, Zhonglin. 
700 1 |a Lin, Liwei. 
856 4 2 |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy1301/2011920981-b.html 
856 4 2 |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy1301/2011920981-d.html 
856 4 1 |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy1301/2011920981-t.html 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 620_115000000000000  |7 0  |9 228643  |a DOP  |b DOP  |d 2019-12-02  |l 0  |o 620.115  |p DOP2922  |r 2019-12-02  |w 2019-12-02  |y BK