Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
Trích dẫn kiểu ChicagoCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
Trích dẫn MLACampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.