Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
Chicago-стиль цитированияCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
MLA-цитированиеCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.