Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
Styl cytowania ChicagoCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
Styl cytowania MLACampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..