Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
Παραπομπή Chicago StyleCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
Παραπομπή MLACampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.