Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
Styl ChicagoCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
Citace podle MLACampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..