Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
শিকাগো স্টাইলে সাইটেশনCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
এমএলএ সাইটেশনCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.