Campbell, S. A. (1996). Science and engineering of microelectronic abrication. OUP.
استشهاد بنمط شيكاغوCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. New York: OUP, 1996.
MLA استشهادCampbell, Stephen A. Science and Engineering of Microelectronic Abrication. OUP, 1996.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.