MADOU MARC J. (2012). FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2 (3.). CRC.
Chicago ZitierstilMADOU MARC J. FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2. 3. AUSTRALIA: CRC, 2012.
MLA ZitierstilMADOU MARC J. FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2. 3. CRC, 2012.
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