MADOU MARC J. (2012). FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2 (3.). CRC.
Trích dẫn kiểu ChicagoMADOU MARC J. FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2. 3. AUSTRALIA: CRC, 2012.
Trích dẫn MLAMADOU MARC J. FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY V.2. 3. CRC, 2012.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.