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Micromachines as tools for nanotechnology /
| その他の著者: | |
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| 言語: | Undetermined |
| 出版事項: |
Springer ,
2003.
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| シリーズ: | Microtechnology and MEMS
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| 主題: |
University of Kerala
| 請求記号: |
D6,8(D92) P3(TB)-P3;2 |
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