Loading...

Science and engineering of microelectronic fabrication /

Bibliographic Details
Main Author: Campbell, Stephen A.
Language:Undetermined
Published: New York : Oxford University Press , 1996,2001.
Edition:2nd ed.
Series:Oxford series in electrical engineering
Subjects:
LEADER 00921nam a2200217Ia 4500
001 128482
008 170722s9999 xx 000 0 und d
020 |a 0195105087 
100 |a Campbell, Stephen A. 
245 |a Science and engineering of microelectronic fabrication / 
250 |a 2nd ed. 
260 |a New York :  |b Oxford University Press ,  |c 1996,2001. 
300 |a 536 p.  |c 23cms 
490 |a Oxford series in electrical engineering 
500 |a Ed.1,1996 
653 |a Electronics Engineering 
942 |c GEN 
999 |c 117665  |d 117665 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 D_653_N61P11TB  |7 0  |9 166202  |a LIB  |b LIB  |d 2017-08-12  |o D65,3 N6;1,P11(TB)  |p 230602  |r 2017-08-12  |w 2017-08-12  |y GEN 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 D_653_N61P11TB  |7 0  |9 166203  |a LIB  |b LIB  |d 2017-08-12  |o D65,3 N6;1,P11(TB)  |p 243229  |r 2017-08-12  |w 2017-08-12  |y GEN 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 D_653_N61P11TB  |7 0  |8 TB  |9 166204  |a LIB  |b LIB  |d 2017-08-12  |o D65,3 N6;1,P11(TB)  |p 255643  |r 2017-08-12  |w 2017-08-12  |y TB