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Chemical vapour deposition polymeration: growth and properties of parylene thin films

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fortin, Jeffrey B
Weitere Verfasser: Toh-Ming Lu
Format: Printed Book
Veröffentlicht: Netherland Kluwer 2004
Schlagworte:
Beschreibung
Beschreibung:xvi,99
ISBN:1402076886