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Modeling MEMS and NEMS /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pelesko,John A.
Weitere Verfasser:	Bernstein, David H.
Format:	Printed Book
Veröffentlicht:	Boca Raton Chapman&Hall 2003
Schlagworte:	Microelectromechanical systems- Mathematical models

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