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Sputtering by particle bombardment I: PHysical sputtering of single-element solids

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Behrisch, R (ed. by)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berin Springer-Verlag 1981
Schlagworte:
Beschreibung
Beschreibung: ref. at the end of each ch.
Beschreibung:xii, 282p., illus.