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Glow discharge processes: sputtering and plasema etching

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Chapman, Brain
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York John Wiley 1980
Schlagworte:

UL

Bestandesangaben von UL
Signatur: 537.525 CHA
Exemplar Live-Status nicht verfügbar