Загрузка...

Glow discharge processes: sputtering and plasema etching

Библиографические подробности
Главный автор: Chapman, Brain
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: New York John Wiley 1980
Предметы:
Описание
Примечание:
Объем:xv, 406 p.