Загрузка...
Ion implementation in semiconductors and other materials
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Printed Book |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
New York
Plenum
1973
|
| Предметы: |
| Примечание: | ref. at the end of each chap."International symposium on ion implantation in semiconductors and other materials, New York, December, 1972." |
|---|---|
| Объем: | xii, 658p.illus. |