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Ion implementation in semiconductors and other materials
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Printed Book |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
New York
Plenum
1973
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| 主題: |
| 記述事項: | ref. at the end of each chap."International symposium on ion implantation in semiconductors and other materials, New York, December, 1972." |
|---|---|
| 物理的記述: | xii, 658p.illus. |