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Ion implementation in semiconductors and other materials
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
New York
Plenum
1973
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| Soggetti: |
| Descrizione del documento: | ref. at the end of each chap."International symposium on ion implantation in semiconductors and other materials, New York, December, 1972." |
|---|---|
| Descrizione fisica: | xii, 658p.illus. |