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Non-destructive evaluation of ion implanted semiconducfor thin films using photothermal deflection spectrosco
Autor principal: | |
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Formato: | Ph.D Thesis |
Idioma: | English |
Publicado em: |
Kochi
Dept.of Physics - CUSAT
2004
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Assuntos: |
UL
Área/Cota: |
535.8 PAU |
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Cód. Barras: | Informação em tempo real indisponível |