CMOS-MEMS

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Brand, Oliver
Weitere Verfasser: Fedder, Gary K; ed
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Germany Wiley-VCH Verlag 2013
Schriftenreihe:Advanced micro and nanosystems
Schlagworte:
Integrated circuits design
CMOS-MEMS-Biological and chemical application
Microelectromechanical systems
CMOS based sensors

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Signatur: 621.3.049.77 BRA
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