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Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

書誌詳細
第一著者:	Joshy, N V
その他の著者:	Jayaraj, M K; guided by
フォーマット:	Ph.D Thesis
言語:	English
出版事項:	Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
主題:	Plasma physics Radio frequency sputtering system

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