Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Joshy, N V
Övriga upphovsmän: Jayaraj, M K; guided by
Materialtyp: Ph.D Thesis
Språk:English
Publicerad: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Ämnen:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Beskrivning
Fysisk beskrivning:ix, 212p.

Liknande verk