Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Библиографические подробности
Главный автор: Joshy, N V
Другие авторы: Jayaraj, M K; guided by
Формат: Ph.D Thesis
Язык:English
Опубликовано: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Предметы:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Описание
Объем:ix, 212p.

Схожие документы