Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Joshy, N V
Outros Autores: Jayaraj, M K; guided by
Formato: Ph.D Thesis
Idioma:English
Publicado em: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Assuntos:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Descrição
Descrição Física:ix, 212p.

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