Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Joshy, N V
Altri autori: Jayaraj, M K; guided by
Natura: Ph.D Thesis
Lingua:English
Pubblicazione: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Soggetti:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Descrizione
Descrizione fisica:ix, 212p.

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