Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Joshy, N V
Muut tekijät: Jayaraj, M K; guided by
Aineistotyyppi: Ph.D Thesis
Kieli:English
Julkaistu: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Aiheet:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Kuvaus
Ulkoasu:ix, 212p.

Samankaltaisia teoksia