Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Joshy, N V
Weitere Verfasser: Jayaraj, M K; guided by
Format: Ph.D Thesis
Sprache:English
Veröffentlicht: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Schlagworte:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Beschreibung
Beschreibung:ix, 212p.

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