Fundamental principles of engineering nanometrology

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Leach, Richard K
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam Elsevier 2010
Schlagworte:
Nanometrology
Nanotechnology
Coordinate metrology

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Signatur: 681.2:620.3 LEA
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