Fundamental principles of engineering nanometrology

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Leach, Richard K
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Amsterdam Elsevier 2010
Soggetti:
Nanometrology
Nanotechnology
Coordinate metrology
Descrizione
Descrizione fisica:xxvi, 321p.
ISBN:9780080964546

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