Fundamental principles of engineering nanometrology

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Leach, Richard K
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Amsterdam Elsevier 2010
Materias:
Nanometrology
Nanotechnology
Coordinate metrology
Descripción
Descripción Física:xxvi, 321p.
ISBN:9780080964546

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