Fundamental principles of engineering nanometrology

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Leach, Richard K
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam Elsevier 2010
Schlagworte:
Nanometrology
Nanotechnology
Coordinate metrology
Beschreibung
Beschreibung:xxvi, 321p.
ISBN:9780080964546

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