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Nanofabrication using focused ion and electron beams principles and applications
| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
Oxford University Press
2012
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| Schriftenreihe: | Nanomanufacturing series
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| Schlagworte: |