Wird geladen...

Nanofabrication using focused ion and electron beams principles and applications

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Utke, Ivo; ed (ed. by.)
Weitere Verfasser: Moshkalev, Stanislav, Russell, Phillip
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York Oxford University Press 2012
Schriftenreihe:Nanomanufacturing series
Schlagworte:
LEADER 00898 a2200229 4500
005 20151026133203.0
008 131219b xxu||||| |||| 00| 0 eng d
020 |a 9780199734214 
080 |a 620.1.03:537.5  |b UTK 
100 |a Utke, Ivo; ed.,  |e ed. by. 
245 |a Nanofabrication using focused ion and electron beams  |b principles and applications   |c ed. by Ivo utke, Stanislav Moshkalev and Philip Russel 
260 |b Oxford University Press  |c 2012  |a New York 
300 |a xvi, 813p. 
490 |a Nanomanufacturing series 
653 |a Nanostructured materials 
653 |a Ion beam nanotechnology 
653 |a Electron beams - Industrial applications 
700 |a Moshkalev, Stanislav 
700 |a Russell, Phillip 
942 |c BK  |6 _ 
999 |c 64840  |d 64840 
952 |0 0  |1 0  |2 udc  |4 0  |6 6201035375_UTK  |7 0  |9 77200  |a UL  |b UL  |d 2013-03-15  |g 0.00  |o 620.1.03:537.5 UTK  |p 00070120  |r 2013-03-15  |v 0.00  |w 2013-03-15  |y BK