Nanofabrication using focused ion and electron beams principles and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Utke, Ivo; ed (ed. by.)
Weitere Verfasser: Moshkalev, Stanislav, Russell, Phillip
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York Oxford University Press 2012
Schriftenreihe:Nanomanufacturing series
Schlagworte:
Nanostructured materials
Ion beam nanotechnology
Electron beams - Industrial applications
Beschreibung
Beschreibung:xvi, 813p.
ISBN:9780199734214

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