Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Madou, Marc J
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Boca Raton CRC Press 2012
Edizione:3rd ed.
Soggetti:
Microelectromechanical systems
Nano electromechanical systems
Microfluidics
Solidstate physics

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Collocazione: 621.382:620.3 MAD.1 R
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