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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

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書誌詳細
第一著者:	Madou, Marc J
フォーマット:	Printed Book
言語:	English
出版事項:	Boca Raton CRC Press 2012
版:	3rd ed.
主題:	Microelectromechanical systems Nano electromechanical systems Microfluidics Solidstate physics

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